超聲技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用探隸
- 期刊名字:電子工業(yè)專用設(shè)備
- 文件大小:
- 論文作者:宋偉峰,成龍,劉永進(jìn),關(guān)宏武
- 作者單位:中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所
- 更新時間:2023-03-24
- 下載次數(shù):次
論文簡介
晶片的潔凈程度直接決定了晶片的價值,而晶片最前端工藝就是清洗?,F(xiàn)代化超聲技術(shù)的應(yīng)用可讓晶片更潔凈。超聲波清洗的功率、頻率、尺寸、安裝方式的選擇都與晶片清潔程度有著密切關(guān)系。主要對超聲波的原理和頻率的選定進(jìn)行了介紹。
論文截圖
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