為以下三種苯系衍生物的統(tǒng)稱：
是聚有機(jī)硅氧烷的單體。均為無色透明可燃液體。工業(yè)上用途較大的是二苯基二氯(甲)硅烷和苯基三氯（甲）硅烷（沸點(diǎn)分別為305℃和201.5℃），極易水解，遇空氣中的水汽即能反應(yīng)放出氯化氫，在生產(chǎn)和貯運(yùn)過程中需密閉。苯基氯硅烷通常與甲基氯硅烷聯(lián)用，生產(chǎn)各類不同用途的有機(jī)硅樹脂和硅橡膠。
制造苯基氯硅烷一般有兩種方法，即直接法和格林納法。后者收率較高，但過程較繁，且需要消耗金屬鎂，成本較高。工業(yè)上主要采用直接法。
直接法是氯苯與硅在氯化亞銅催化劑作用下進(jìn)行反應(yīng)：
反應(yīng)溫度450℃，壓力0.35～3.5MPa。產(chǎn)物中以二苯基二氯（甲）硅烷為主，苯基三氯（甲）硅烷次之，三苯基氯（甲）硅烷極少。此外，尚有聯(lián)苯及炭生成。若在進(jìn)料中加入少量氯化鈉，使與硅粉中的雜質(zhì)鋁結(jié)合為氯化鋁，則可防止苯硅基鍵斷裂和聯(lián)苯生成。為防止反應(yīng)器內(nèi)局部過熱而生成炭，需采用流化床反應(yīng)器。生產(chǎn)過程的設(shè)備材質(zhì)可用普通鋼，由于氯硅烷類與鋅、錫、鎂及鋁等在高溫下均能作用，所以應(yīng)避免采用含這些金屬的合金。
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