文中提出一種新的目標識別算法——形狀尺寸對比度濾波器算法，它是在尺寸對比度濾波器的基礎(chǔ)上，加上目標形狀特征，克服了原單一回形結(jié)構(gòu)算法的局限性，使算法可準確地識別具有特定形狀和尺寸的目標。針對硅片對準八字標記，介紹了算法的基本原理和結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計。通過對算法的分析及工程實際應用，有效地驗證了該算法識別目標的正確性，并證實其特點。