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國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)與市場(chǎng) 國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)與市場(chǎng)

國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)與市場(chǎng)

  • 期刊名字:電子工業(yè)專用設(shè)備
  • 文件大小:
  • 論文作者:王小衛(wèi)
  • 作者單位:天津大學(xué)
  • 更新時(shí)間:2023-03-24
  • 下載次數(shù):
論文簡(jiǎn)介

概述了國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)動(dòng)態(tài),介紹了光刻技術(shù)、CMP技術(shù)、膜生長(zhǎng)技術(shù)、刻蝕技術(shù)、離子注入技術(shù)、清洗技術(shù)及封裝技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀和技術(shù)趨勢(shì),預(yù)測(cè)了全球半導(dǎo)體制造設(shè)備未來市場(chǎng)變化,并提出了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新的途徑.

論文截圖
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