預(yù)測性維修是多年來維修領(lǐng)域研究的重點(diǎn)問題,文章從一般預(yù)測維修的論點(diǎn)出發(fā),分析比較了修復(fù)性維修、預(yù)防維修和預(yù)測性維修的優(yōu)缺點(diǎn),并列舉了一些半導(dǎo)體設(shè)備預(yù)測性維修的措施。半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)都是流水線作業(yè),生產(chǎn)中任何一臺(tái)設(shè)備發(fā)生故障或者失敗都會(huì)給企業(yè)帶來停產(chǎn),造成巨大損失。所以要對重點(diǎn)設(shè)備、關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控,進(jìn)行預(yù)知性維修,消除隱藏故障,避免發(fā)生重大災(zāi)難后果。預(yù)測性維修是以狀態(tài)為依據(jù)的維修,在機(jī)器運(yùn)行時(shí),對它的主要部位進(jìn)行定期（或連續(xù)）的狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷,判定裝備所處的狀態(tài),預(yù)測裝備狀態(tài)未來的發(fā)展趨勢,依據(jù)裝備的狀態(tài)發(fā)展趨勢和可能的故障模式,預(yù)先制定預(yù)測性維修計(jì)劃,確定機(jī)器啟動(dòng)修理的時(shí)間、內(nèi)容、方式和必需的技術(shù)及物資支持。預(yù)測性維修集設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測、故障診斷、故障（狀態(tài)）預(yù)測、維修決策支持和維修活動(dòng)于一體,是一種新興的維修方式。