設(shè)計了一個低成本、高穩(wěn)定性的基于BJ22矩形波導(dǎo)的微波等離子體炬源.整個系統(tǒng)由1～10 Kw主頻2.45 GHz的磁控管微波功率源、環(huán)形器、調(diào)諧器和微波反應(yīng)腔體組成.通過特殊設(shè)計的調(diào)諧裝置,在氣體噴嘴處產(chǎn)生高幅值的電場強度,使工作氣體電離形成大氣壓開放式微波等離子體炬.對影響電場強度的幾個關(guān)鍵因素進行了仿真,得出各個參數(shù)對場強的影響規(guī)律;根據(jù)仿真參數(shù)設(shè)計了微波反應(yīng)腔體,該系統(tǒng)可以在大氣壓下激發(fā)和維持開放的穩(wěn)定氬氣、氦氣、氮氣和空氣等離子體炬.對等離子體炬的基本特性和基本參數(shù)進行了研究,驗證了設(shè)計參數(shù)的正確性,討論了其可擴展性及潛在的工業(yè)應(yīng)用.