多源感應(yīng)耦合等離子體的產(chǎn)生及等離子體診斷

期刊名字：物理學(xué)報(bào)
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論文作者：辛煜，狄小蓮，虞一青，寧兆元
作者單位：蘇州大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院
更新時(shí)間：2023-03-20
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論文簡(jiǎn)介

基于單組多匝線圈的小腔體感應(yīng)耦合等離子體,研究了線圈配置與耦合效率等之間的關(guān)聯(lián),并將實(shí)驗(yàn)結(jié)果應(yīng)用到多組并聯(lián)螺旋天線感應(yīng)耦合等離子體放電體系中.采用了改進(jìn)的朗謬爾探針方法對(duì)單源和多源感應(yīng)耦合等離子體的電參量分別進(jìn)行了表征.結(jié)果表明,使用多螺旋天線并聯(lián)方式可以產(chǎn)生低氣壓高密度的感應(yīng)耦合等離子體放電,通過調(diào)整工藝參量,可以將等離子體密度和光刻膠的刻蝕均勻性控制在80%以上.

論文截圖

上一條：閉式等離子體隱身技術(shù)及等離子體參數(shù)的優(yōu)化

下一條：雙離子成份等離子體的離子聲色散關(guān)系

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