微波等離子體可以通過無極放電方式產生,相對其它放電方式而言,容易在高氣壓下維持較高容量,有較好的工業(yè)應用價值,但目前在較高氣壓下使用的微波等離子體裝置還不成熟.為此,介紹了一種新型的微波等離子體反應腔,包括該腔體的結構和設計原理,并將其與現(xiàn)有的純狹縫式微波反應腔作了比較,以說明兩縫結合腔體的優(yōu)點;通過引入噴氣電離管前后微波激發(fā)所需要的能量變化以說明電離管的作用:它利用環(huán)形波導的狹縫天線和大縫向腔內傳輸微波以激發(fā)和維持等離子體,這種兩縫結合的形式使反應腔內高場強區(qū)域擴大,有助于大面積等離子體的產生;同時,該腔體還配套有一噴氣電離管,通過其產生的電離流的作用,有效降低了微波激發(fā)等離子體所需的能量.通過攝像頭觀察到的實驗現(xiàn)象表明,在大氣壓下其產生的等離子體是相對均勻的,且覆蓋面積大,可有效的應用于工業(yè)中.