建立了ECR微波等離子體源離子輸運的平板和圓柱模型，對離子歷經(jīng)的空間區(qū)域的輸運過程進行了數(shù)值研究.采用MonteCarlo(M-C)方法模擬了存在外磁場情況下，離子離開放電室后歷經(jīng)中性區(qū)、鞘層區(qū)、最后被加負偏壓的工件表面吸收的全過程.考慮了離子與中性粒子的電荷交換碰撞和彈性散射，統(tǒng)一處理了中性區(qū)和鞘層區(qū)電勢的銜接.采用曲線擬合，電勢自洽迭代方法把中性區(qū)和鞘層區(qū)銜接起來，得到了光滑自洽的電勢分布曲線和鞘層區(qū)不同位置處的速度分布、能量分布及角分布.