論文簡介
CuO-ZnO異質(zhì)結(jié)氣敏傳感器是一種新型的氣敏傳感器,它有成本低、工藝簡單、檢測方便等眾多優(yōu)點.本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情況下,該傳感器的氣敏性能.測試了它的阻溫特性及在不同溫度、不同氣氛條件下器件的靈敏度,并從理論上對測試結(jié)果及敏感機(jī)理進(jìn)行了分析和討論.
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