金屬/半導(dǎo)體接觸孔噪聲特性研究

期刊名字：半導(dǎo)體技術(shù)
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論文作者：?jiǎn)蜗?，杜磊，萬(wàn)長(zhǎng)興，包軍林
作者單位：西安電子科技大學(xué)技術(shù)物理學(xué)院
更新時(shí)間：2023-03-24
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論文簡(jiǎn)介

通過(guò)對(duì)1μm金屬/半導(dǎo)體接觸孔鏈樣品施加高應(yīng)力的加速壽命試驗(yàn)和室溫下的噪聲頻譜測(cè)量,得到了1/f噪聲、10Hz點(diǎn)頻功率譜特征及其變化規(guī)律.實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)應(yīng)力前后1/f噪聲10Hz點(diǎn)頻功率譜有明顯的變化.對(duì)比實(shí)驗(yàn)中電阻和噪聲的變化,噪聲變化量是電阻變化量的1304倍.1/f噪聲可以作為金屬/半導(dǎo)體接觸孔可靠性的靈敏表征參量.

論文截圖

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