建立了等離子體基離子注入過程中試樣溫度預(yù)測的理論模型,應(yīng)用這個(gè)模型進(jìn)行了一系列數(shù)學(xué)模擬.以純鋁為例測定了在不同的注入條件下試樣的溫度變化,得到的實(shí)驗(yàn)結(jié)果與數(shù)學(xué)模擬相符合.試驗(yàn)表明,低功率注入時(shí),系統(tǒng)達(dá)到熱平衡的時(shí)間較長,而且熱平衡溫度低;隨功率的上升,試樣升溫加快;注入功率密度高時(shí),試樣容易在注入過程中達(dá)到平衡溫度,而且其平衡溫度受注入功率的影響較小;試樣的尺寸也是影響試樣溫度平衡的一個(gè)主要因素.在此基礎(chǔ)上提出了在等離子體基離子注入過程中控制試樣溫度的方法.