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SQUID與半導(dǎo)體樣品的無(wú)損檢測(cè) SQUID與半導(dǎo)體樣品的無(wú)損檢測(cè)

SQUID與半導(dǎo)體樣品的無(wú)損檢測(cè)

  • 期刊名字:現(xiàn)代測(cè)量與實(shí)驗(yàn)室管理
  • 文件大?。?/li>
  • 論文作者:鐘青,喬蔚川
  • 作者單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院
  • 更新時(shí)間:2023-03-24
  • 下載次數(shù):
論文簡(jiǎn)介

隨著半導(dǎo)體集成度的不斷提高,半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)也不斷拓展和更新.SQUID是目前所知的最靈敏的磁場(chǎng)和磁通探測(cè)器.本文將介紹一種以SQUID為探頭的、非接觸式的、半導(dǎo)體材料和器件檢測(cè)裝置.

論文截圖
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