采用光譜診斷法和Langmuir單探針法對射頻感應(yīng)耦合Ar氣等離子體特性進(jìn)行分析.通過光柵光譜儀研究了低氣壓下Ar氣等離子體的光譜強(qiáng)度的變化特性,采用Langmuir單探針法測量不同條件下電子密度和電子溫度.等離子體發(fā)射光譜的光譜強(qiáng)度隨著氣壓和功率的增加而增強(qiáng),射頻功率對光譜強(qiáng)度的影響較明顯.當(dāng)功率從120 W增加到180 W時,光譜強(qiáng)度將會迅速增加,等離子體發(fā)生E模向H模的模式轉(zhuǎn)換.Langmuir單探針法測量的電子密度和電子溫度在的變化規(guī)律符合E模向H模轉(zhuǎn)換的變化規(guī)律.