隨著半導(dǎo)體器件參數(shù)的增加，目標(biāo)函數(shù)的自變量空間維數(shù)變得越來越大。傳統(tǒng)的優(yōu)化算法已經(jīng)不能很好地處理此類問題，主要表現(xiàn)在無法有效地達(dá)到目標(biāo)函數(shù)的極小點(diǎn)。文章首先在參數(shù)提取軟件中實(shí)現(xiàn)了遺傳算法，并與傳統(tǒng)的優(yōu)化算法進(jìn)行了比較，探討了該算法在參數(shù)提取軟件中的實(shí)用性，提出了將遺傳算法與傳統(tǒng)優(yōu)化算法結(jié)合在一起的方法。