PLC在半導(dǎo)體設(shè)備改造上的應(yīng)用

期刊名字：微處理機(jī)
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論文作者：張鵬遠(yuǎn)，張耀庚
作者單位：中國電子科技集團(tuán)公司第四十七研究所
更新時(shí)間：2023-03-24
下載次數(shù)：次

論文簡介

四英寸半導(dǎo)體設(shè)備多為上個(gè)世紀(jì)80年代初產(chǎn)品,經(jīng)過30余年的運(yùn)行,設(shè)備面臨著老化嚴(yán)重,故障率高,配件短缺等問題.受當(dāng)時(shí)技術(shù)水平的限制,設(shè)備普遍自動(dòng)化程度不高.為克服以上問題我們采用可編程控制器(PLC)對(duì)老舊設(shè)備進(jìn)行改造.詳盡介紹了現(xiàn)階段工業(yè)控制領(lǐng)域比較先進(jìn)的PLC控制技術(shù)及其應(yīng)用案例,為今后的設(shè)備改造及設(shè)計(jì)提供了更為廣闊的路徑.

論文截圖

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