01特氣在IC中的應用 術語4特種氣體 specialty gas 電子產品生產外延、化學氣相沉積、刻蝕、摻雜等工藝中使用的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性等特殊氣體。大宗特種氣體 bulk specialty gas 一般指單個氣體設備容積大于400L的特種氣體。氣體純度 gas purity 5N 純度為 99.999%，5.5N純度為 99.9995%。術語5GCGRVMPVMBIC制造工藝與特氣的關系6襯底材料清洗液反應氣光刻膠氣粘粘劑反應氣顯影劑剝離液刻蝕液清洗液摻雜氣成膜氣靶材晶片清洗氧化光 阻 涂 布曝光顯影去膠刻蝕清洗摻雜化學機械拋光氣 相 沉 積濺射刻蝕氣清洗液拋光液集 成電 路封裝測試背面金屬化背 面減 薄封 裝材 料成膜氣拋光液特氣具體應用場景702特氣安全事故案例特氣爆炸事故案例9時間：2005年11月23日 地點：臺南生產太陽能電池的MOTECH工廠 事故：硅烷鋼瓶發(fā)生爆炸 損失：一人當場燒死，所有氣柜、面板及管線燒毀，直接經濟損失130萬美金。 經過：硅烷氣柜泄漏報警，操作工過去檢查，打開氣柜瞬間發(fā)生爆炸。特氣泄露中毒事故案例10RH化工氯氣泄漏事故瓶裝特氣事故視頻1110·10燃氣爆炸視頻普通氣瓶事故視頻03特氣安全風險 特氣安全風險13特氣間布局圖14特氣種類15特氣爆炸極限16天然氣在空氣中的爆炸極限范圍是5%-15%特氣職業(yè)接觸限值17職業(yè)接觸限值(OEL)，是職業(yè)性有害因素的結束限制量值。 最高容許濃度(MAC)，工作地點在一個工作日內、任何時間有毒化學物質均不應超過的濃度。 時間加權平均容許濃度(PC-TWA)，以時間為權數(shù)規(guī)定的 8h 工作日40h 工作周的平均容許接觸濃度。 短時間接觸容許濃度(PC-STEL)在遵守時間加權平均容許濃度(PC-TWA)前提下容許短時間(15min)接觸的濃度。12 CO 20 30特氣膨脹率18氧氣濃度對人體的影響19低溫凍傷20-196℃ 易發(fā)生凍傷事故04安全用氣要求 特氣容器分類22普通鋼瓶（50L及以下） Y-鋼瓶（450L） T-鋼瓶（980L) 集裝格（940L) ISO罐（22500L) 魚雷車（13400L)氣體壓縮過程23固液氣三相平衡圖24臨界溫度: 使物質由氣相變?yōu)橐合嗟淖罡邷囟冉信R界溫度,每種物質都有一個特定的溫度,在這個溫度以上,無論怎樣增大壓強,氣態(tài)物質不會液化,這個溫度就是臨界溫度。氣體分類25壓縮氣體compressed gas(永久氣體 permanent gas)，臨界溫度小于等于-50℃的所有氣體。 液化氣體 liquefied gas，臨界溫度大于-50℃的氣體,是高壓液化氣體和低壓液化氣體的統(tǒng)稱。 高壓液化氣體 high pressure liquefied gas，臨界溫度大于-50℃，且小于或等于65℃的氣體 低壓液化氣體 low pressure liquefied gas，臨界溫度大于65℃的氣體 低溫液化氣體 refrigerated liquefied gas (cryogenic liquid gas)，臨界溫度低于或等于-55℃,在儲運過程中由于低溫而液化的氣體。液氮罐結構26氣瓶結構27氣瓶安全附件28瓶帽瓶閥防震圈爆破片易熔塞氣瓶顏色標志29氣瓶充裝壓力30氣瓶制造鋼印標志31氣瓶定期檢驗鋼印標志32定期檢驗鋼印標記，可打在氣瓶瓶體、銘牌或者護罩上，如圖 B-4a)所示;也可打在金屬檢驗標志環(huán)上，如圖 B-4 (b) 所示.氣瓶檢驗周期33氣瓶使用年限34氣瓶安全使用要求35在使用新氣體前,務必閱讀該氣體MSDS，按要求穿戴PPE。 核對氣瓶標簽內容是否符合實驗要求。 氣瓶的外表是否存在腐蝕、變形、磨損、裂紋等嚴重缺陷。 氣瓶的附件(防震圈、瓶帽、瓶閥)是否齊全、完好。 氣瓶是否超過定期檢驗周期。 氣瓶的使用狀態(tài)(滿瓶、使用中、空瓶)清晰。氣瓶安全使用要求36不相容氣瓶分開存放。 瓶內氣體不得用盡，必須留有剩余壓力。 易燃易爆液體氣瓶不得放在橡膠等絕緣體上，以防止產生靜電火花。 打開氣瓶閥門時，人要站在氣瓶出氣口側面。 開啟或關閉瓶閥應緩慢，以防止產生摩擦熱或靜電火花。 氣瓶應立放使用，嚴禁臥放，并應采取防止傾倒的措施。氣瓶安全使用要求37裝卸氣瓶時，必須配好瓶帽(有保護罩的除外)，防止瓶閥受力損傷。 使用手推車移動氣瓶，鋼瓶在手推車上必須固定好，僅短距離才允許用手搬運鋼瓶。 裝卸中輕裝輕卸，嚴禁拋、滑、滾、碰。 人工搬運氣瓶時，應手盤瓶肩，轉動瓶底，不得拖拽、滾動或用腳蹬踹。 卸車時，應在氣瓶落地點鋪上軟墊或橡膠皮墊，逐個卸車，嚴禁溜放。 裝卸氧氣瓶時，工作服、手套和裝卸工具、機具上不得粘有油脂。氣瓶安全使用要求38氣瓶放置地點不得靠近熱源。 氣瓶應防止曝曬、雨淋、水浸，環(huán)境溫度超過40℃時，應采取遮陽等措施降溫。 氣瓶瓶閥或減壓器有凍結、結霜現(xiàn)象時，不得用火烤，可將氣瓶移入室內或氣溫較高的地方，或用40℃以下的溫水沖澆，再緩慢地打開瓶閥。 嚴禁用溫度超過40℃的熱源對氣瓶加熱。特氣安全其它要求39氣瓶柜閉門時應保持不低于100Pa負壓，柜內的排風換氣次數(shù)不得低于300次/h。 具有自燃性、劇毒性、強腐蝕性的特種氣體，宜采用雙套管設計。 低蒸汽壓特種氣體的管道應設置伴熱和保溫措施，加熱溫度不宜超過50℃。 采暖通風與空氣調節(jié) 特氣體站房應設置連續(xù)的機械通風，通風量應滿足氣瓶柜的排風要求，且特種氣體站房通風換氣率不應低于18m3/(h.m2)。 特種氣體氣瓶柜、閥門箱應設置機械排風裝置。 大宗特種氣體站房應設置事故通風，事故通風量宜根據事故泄漏量計算確定，但房間換氣次數(shù)不應小于12次/h。事故通風應與特種氣體站房環(huán)境探測器進行聯(lián)鎖，并應在特種氣體站房外設置事故通風緊急按鈕。 特種氣體站房宜設置空調系統(tǒng)，室內溫度、濕度設計參數(shù)應滿足氣瓶柜的要求，當氣瓶柜無具體要求時，室內設計參數(shù)宜滿足溫度為 23℃±5℃，濕度為30%～70%的環(huán)境要求。 低蒸汽壓特種氣體管路應安裝伴熱帶并用保溫棉包覆管路，當管道穿越溫差較大區(qū)域時應分段加熱。05特氣事故應急處置特氣偵測器報警值設定41特氣應急處置42關氣疏散滅火硅烷滅火注意事項： 發(fā)生硅烷火災時，應緊急切斷硅烷氣源，在未切斷氣源的情況下，嚴禁撲滅硅烷火焰。 發(fā)生硅烷火災時，應使用水對鋼瓶、儲罐等進行冷卻。 不應使用鹵代烷類及二氧化碳滅火器。匯報