電子探針顯微分析(ElectronProbeMicroanalysisEPMA)是利用高能電子束與固體樣品相互作用在樣品的微米尺度上激發(fā)出特征X射線、二次電子、背散射電子、陰極熒光等信號通過這些信號進行成分、形貌、結構等顯微分析。電子探針顯微分析包括成分、形貌、結構等顯微分析其中成分分析包括定性分析和定量分析電子探針定量分析的基本原理是通過測量、比較未知樣品和已知元素含量的標準物質(zhì)中微米尺度上元素的特征X 射線強度并經(jīng)過校正計算獲得未知樣品的微區(qū)元素含量。標準物質(zhì)作為電子探針定量分析中采用的實物標準對于定量分析結果的準確性具有至關重要的作用。 本規(guī)范對電子探針定量分析用標準物質(zhì)的均勻性和穩(wěn)定性評估、化學成分的定值等給出了具體的指導。相關技術要求參考采用了ISO14595微束分析-電子探針顯微分析-標準物質(zhì)技術規(guī)范(Microbeamanalysis-Electronprobemicroanalysis-Guidelinesforthespecificationofcertifiedreferencematerials(CRMs))中的有關內(nèi)容。 本規(guī)范代替JJF 1029-1991 《電子探針定量分析用標準物質(zhì)研制規(guī)范》。與JJF1029—1991相比主要修訂了包括均勻性評估中抽樣原則、評估方法、數(shù)據(jù)處理 和接受準則等穩(wěn)定性評估中新增了長期穩(wěn)定性評估要求。新增不確定度評定相關章節(jié)。 本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況: ———JJF1029—1991。