GB/T 43104-2023 碳基薄膜 分類及命名
- 標(biāo)準(zhǔn)類別:[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
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- 標(biāo)準(zhǔn)編號:GB/T 43104-2023 碳基薄膜 分類及命名
- 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
- 更新時間:2024-01-03
- 下載次數(shù):次
本文件規(guī)定了碳基薄膜的分類、命名及簡稱。本文件所述的碳基薄膜是以碳為主要成分,并由物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)制備所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[又稱為類金剛石薄膜(DLC)],CVD金剛石薄膜、石墨薄膜和類聚合物碳基薄膜。 本文件適用于工業(yè)規(guī)模生產(chǎn)的碳基薄膜。本文件不適用于尚未實現(xiàn)工業(yè)規(guī)模生產(chǎn)的其余種類碳基薄膜。 本文件只涉及碳基薄膜材料,不涉及由主體功能層和上/下附加層組成的復(fù)合涂層。 薄膜中各層組分和/或性能隨厚度變化的薄膜稱為梯度薄膜。本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度薄膜。 碳基薄膜可能包含如氫、金屬或其他元素。其中金屬成分還包含金屬碳化物。本文件涵蓋的摻雜碳基薄膜只包括以碳元素為主要成分的薄膜體系。對于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜,也不適用于本文件中的金屬摻雜非晶碳基薄膜(a-C:Me,a-C:H:Me)體系。 本文件不適用于富勒烯、碳納米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。 標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 43104-2023 標(biāo)準(zhǔn)名稱:碳基薄膜分類及命名 英文名稱:Carbon based films—Classification and designations 發(fā)布日期:2023-09-07 實施日期:2024-04-01 采用標(biāo)準(zhǔn):ISO 20523:2017《碳基薄膜分類及命名》 IDT 等同采用 起草人:汪愛英、段海濤、郭鵬、柯培玲、謝開鋒、王鵬、柴利強、林松盛、石倩、李曉偉、林海天 起草單位:中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所、武漢材料保護(hù)研究所有限公司、寧波新材料測試評價中心有限公司、中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所、廣東省科學(xué)院新材料研究所、中國礦業(yè)大學(xué)、東莞市華升真空鍍膜科技有限公司 歸口單位:全國金屬與非金屬覆蓋層標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 57)
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