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SJ 21257-2018 離子束濺射鍍膜設(shè)備通用規(guī)范 General specification for ion beam film sputtering eauipment SJ 21257-2018 離子束濺射鍍膜設(shè)備通用規(guī)范 General specification for ion beam film sputtering eauipment

SJ 21257-2018 離子束濺射鍍膜設(shè)備通用規(guī)范 General specification for ion beam film sputtering eauipment

  • 標(biāo)準(zhǔn)類別：[SJ] 電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
  • 標(biāo)準(zhǔn)大小：
  • 標(biāo)準(zhǔn)編號：SJ 21257-2018
  • 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
  • 更新時間：2023-10-30
  • 下載次數(shù)：次
標(biāo)準(zhǔn)簡介

本規(guī)范規(guī)定了離子束濺射鍍膜設(shè)備的通用要求、質(zhì)量保證規(guī)定、交貨準(zhǔn)備。
本規(guī)范適用于離子束濺射鍍膜設(shè)備（以下簡稱設(shè)備）的設(shè)計、生產(chǎn)、檢驗和驗收。

標(biāo)準(zhǔn)截圖
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