本文件規(guī)定了半絕緣型碳化硅(SiC)單晶襯底的術(shù)語、分類、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等。 本文件適用于經(jīng)拋光后制備的Φ50.8 mmΦ76.2mm，Φ100.0mm，Φ150. 0mm半絕緣型SiC襯底，晶型為4H。