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GB/T 24582-2023 多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測(cè)定酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法

標(biāo)準(zhǔn)類別：[GB] 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
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標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 24582-2023 多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測(cè)定酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
更新時(shí)間：2023-09-18
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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本文件描述了用酸從多晶硅表面浸取金屬雜質(zhì)，并用電感耦合等離子質(zhì)譜儀定量檢測(cè)多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量的方法。本文件適用于太陽能級(jí)多晶硅和電子級(jí)多晶硅表面堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅、鋁等雜質(zhì)元素含量的測(cè)定，測(cè)定范圍為0.01 ng/g。替代GB/T 24582-2009

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