本文件給出了監(jiān)測粒徑限值不超過0.1μm(100nm）的“納米尺度”粒子濃度的技術要求。
本文件給出的監(jiān)測技術要求主要用于“動態(tài)”。
注1：本文件提及的“納米尺度粒子”是指所有在1維上（納米片）、2維上（納米纖維）或3維上（納米粒子）具有納米尺度的納米物質。
注2：請注意，潔凈室內粒子的實際特性是由粒子的來源及其物理特性所決定的。
注3：本文件未考慮健康與安全事項。T 25915.12-2021/ISO 14644-12:2018 潔凈室及相關受控環(huán)境第12部分： 監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術要求 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 12: Specifications for 　 　 　 　 monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration (ISO 14644-12:2018, IDT) 2021-10-11發(fā) 布 2022-05-01實 施 寥黷隱糖艘髂‘“ GB/T 25915.12-2021/ISO 14644-12:2018 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ 工 引 言 ？？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？