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GB/T 34649-2017 磁控濺射用釕靶 Magnetron sputtering ruthenium target
- 標(biāo)準(zhǔn)類別:[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
- 標(biāo)準(zhǔn)大?。?/li>
- 標(biāo)準(zhǔn)編號:GB/T 34649-2017
- 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
- 更新時間:2023-07-06
- 下載次數(shù):次
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磁控濺射用釕靶的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于微電子領(lǐng)域鍍膜用磁控濺射釘靶(以下簡稱釕靶)。GB/T 34649-2017
磁控濺射用釕靶
Magnetron sputtering ruthenium target
2017-09-29發(fā) 布 2018-04-01實 施
中 華 人 民 共 和 國 國 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗 檢 疫 總 局 噬 + 肴 :
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GB/T 34649-2017
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本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T 1.1-2009給出的規(guī)則起草 。
本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出 。
本 標(biāo) 準(zhǔn) 由 全 國 有 色 金 屬 標(biāo) 準(zhǔn) 化 技 術(shù) 委 員 會 ( SAC/TC 243) 歸 口 。
本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位:有研億金新材料有限公司 、 有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院 。
本 標(biāo) 準(zhǔn) 起 草 人 : 羅 俊 鋒 、 丁 照 崇 、 李 勇 軍 、 向 磊 、 萬 小 勇 、 劉 書 芹 、 熊 曉 東 、 王 莊 、 賀 聽 、 滕 海 濤 、 高 巖 。
標(biāo)準(zhǔn)截圖
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