本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法及數(shù)據(jù)處理。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于厚度在50nm到數(shù)微米之間且長(zhǎng)度和厚度的比值大于300的樣品，也可用于MEMS產(chǎn)品帶狀薄膜結(jié)構(gòu)的質(zhì)量監(jiān)控。GB/T 38446-2020 　 微 機(jī) 電 系 統(tǒng) （ MEMS ） 技 術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗(yàn)方法 　 　 　 　 　 Micro-electromechanical system technology- Test methods for tensile property measurement of strip thin films 2020-03-06發(fā) 布 2020-10-01實(shí) 施 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局必活 ， 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)仄”p GB/T 38446-2020 目 次 前 言 ？？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ I 1范 圍 ？？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？