本規(guī)范適用于新建、改建和擴建的硅集成電路芯片工廠的工程設(shè)計?？?酵 標(biāo) 準(zhǔn) G目 GB 50809-2012 硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范 Code for design of silicon integrated circuits wafer fab 2012-10-11發(fā) 布 2012-12-01實 施 寶 多 ． 憶 墾 產(chǎn) ！ 理 隹 歲 于 暨 爛 ： 到 色 剪 聯(lián) 合 發(fā) 布 ’1邊 ：書Ott:女 不u ！ 到 一 警 ！ 勿 釗 災(zāi) 國m 省 15丈 與 互 書 立 7殳J忌I司 中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn) 　 硅 集 成 電 路 芯 片 工 廠 設(shè) 計 規(guī) 范 Code for design of silicon integrated circuits wafer fab GB 50809 - 2012 主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部 批準(zhǔn)部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部 施行日期：2 0 1 2年1 2月．1日 中國計劃出版社 ？ 2012北 ’京 　　中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn) 硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范