YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的測定氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用

標準類別：[YS] 有色冶金行業(yè)標準
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標準編號：YS/T987-2021
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
更新時間：2023-03-01
下載次數(shù)：次

標準簡介

本文件規(guī)定了氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用法測定氯硅烷中碳雜質(zhì)含量的方法。本文件適用于氯硅烷中碳雜質(zhì)（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，統(tǒng)稱甲基氯硅烷）含量的測定，測定范圍（質(zhì)量分數(shù)）為 0.000 010%～0.10%。替代YS/T 987-2014

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