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GB/T 25915.12-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration GB/T 25915.12-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

GB/T 25915.12-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

  • 標(biāo)準(zhǔn)類別：[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
  • 標(biāo)準(zhǔn)大小：
  • 標(biāo)準(zhǔn)編號：GB/T 25915.12-2021
  • 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
  • 更新時間：2022-10-24
  • 下載次數(shù)：次
標(biāo)準(zhǔn)簡介

本文件給出了監(jiān)測粒徑限值不超過0.1 um(100 nm)的“納米尺度”粒子濃度的技術(shù)要求。本文件給出的監(jiān)測技術(shù)要求主要用于“動態(tài)”。

標(biāo)準(zhǔn)截圖
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