GB/T 40577-2021集成電路制造設(shè)備術(shù)語Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment

標準類別：[GB] 國家標準
標準大小：
標準編號：GB/T 40577-2021
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
更新時間：2022-10-24
下載次數(shù)：次

標準簡介

本文件規(guī)定了集成電路(IC)制造設(shè)備的基本和常用術(shù)語,包括基礎(chǔ)術(shù)語,晶體生長加工設(shè)備、掩模制造設(shè)備、光刻與刻蝕設(shè)備、摻雜設(shè)備、薄膜淀積設(shè)備、清洗設(shè)備、封裝設(shè)備、檢測設(shè)備的術(shù)語及公用部件術(shù)語。本文件適用于集成電路制造設(shè)備的設(shè)計開發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用,也適用于集成電路制造設(shè)備的科研、教學和出版工作。

標準截圖

上一條：GB/T 10395.20-2021農(nóng)林機械安全第20部分：撿拾打捆機Agricultural and forestry machinery—Safety—Part 20:Pick-up balers

下一條：GB/T 40744-2021馬鈴薯莖葉及其加工制品中茄尼醇的含量測定高效液相色譜-質(zhì)譜法Determination of solanesol in potato stems， leaves and their processed products. High performance liquid chromatography-mass spectrometry

版權(quán)：如無特殊注明，文章轉(zhuǎn)載自網(wǎng)絡(luò)，侵權(quán)請聯(lián)系cnmhg168#163.com刪除！文件均為網(wǎng)友上傳，僅供研究和學習使用，務(wù)必24小時內(nèi)刪除。