本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T16945-1997《電子工業(yè)用氣體 氬》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T16945-1997相比主要變化如下:---修改氬的適用范圍(GB/T16945-1997的第1章,本版的第1章);---增加規(guī)范性引用文件(GB/T16945-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容:增加一類純度和雜質(zhì)含量(GB/T16945-1997的第3章,本版的第3章);---修改瓶裝氬抽樣方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.1);---增加集裝閣裝、大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶和杜瓦罐裝氬產(chǎn)品并規(guī)定檢驗(yàn)方法(見4.1.1);---修改管道輸送的氬抽樣方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.2);---增加氬的采樣安全要求(見4.1.3);---修改氫、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的測定方法(GB/T16945-1997的4.3、4.4、4.5,本版的4.3);---增加其他方法測定總烴;當(dāng)出現(xiàn)多種分析方法時,增加規(guī)定仲裁方法(見4.3、4.4、4.5);---修改水分的測定方法(GB/T16945-1997的4.7,本版的4.5);---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T16945-1997的第5章,本版的第5章)。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:趙俊秀、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T16945-1997。