本標(biāo)準(zhǔn)修改采用SEMIMF19821103《熱解吸附氣相色譜法評(píng)估硅片表面有機(jī)污染物的方法》。本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)SEMIMF19821103格式進(jìn)行了相應(yīng)調(diào)整。為了方便比較,在資料性附錄B中列出了本標(biāo)準(zhǔn)章條和SEMIMF19821103章條對(duì)照一覽表。并對(duì)SEMIMF19821103條款的修改處用垂直單線標(biāo)識(shí)在它們所涉及的條款的頁(yè)邊空白處。本標(biāo)準(zhǔn)與SEMIMF13890704相比,主要技術(shù)差異如下:---去掉了目的、關(guān)鍵詞;---將實(shí)際測(cè)試得到的單一試驗(yàn)室的精密度結(jié)果代替原標(biāo)準(zhǔn)中的精度和偏差部分,并將原標(biāo)準(zhǔn)中的精度和偏差部分作為資料性附錄A。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A、附錄B為資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:王奕、褚連青、李靜。