本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T11072-1989《銻化銦多晶、單晶及切割片》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T11072-1989相比,主要有如下變化:---將原標(biāo)準(zhǔn)中直徑10mm~50mm 全部改為10mm~200mm;---在原標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上增加了直徑>50mm,厚度不小于1200μm,厚度偏差±40μm;---將原標(biāo)準(zhǔn)中位錯(cuò)密度級(jí)別1、2、3中直徑≥30mm~50mm 全部改為≥30mm~200mm;---在原標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上增加了直徑為100mm、150mm、200 mm 的切割片直徑、參考面長(zhǎng)度及其偏差;---將原標(biāo)準(zhǔn)中的附錄A 去掉,增加引用標(biāo)準(zhǔn)GB/T11297;---增加了訂貨單(或合同)內(nèi)容一章內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:峨嵋半導(dǎo)體材料廠。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:王炎、何蘭英、張梅。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T11072-1989。