本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T14601-1993《電子工業(yè)用氣體 氨》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T14601-1993相比主要變化如下:---修改標(biāo)準(zhǔn)的名稱;---修改適用范圍(GB/T14601-1993的第1章,本版的第1章);---修改規(guī)范性引用文件(GB/T14601-1993的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T14601-1993的第3章,本版的第3章);---增加對氨尾氣處理的要求(見4.3);---刪去按GB5831規(guī)定的方法測定氧含量(GB/T14601-1993的4.2.1);---修改氧、氮、一氧化碳含量的測定(GB/T14601-1993的4.2、4.3、4.4,本版的4.4);---增加氫、氬含量的測定(見4.4);---增加二氧化碳含量的測定(見4.4);---修改烴含量的測定(GB/T14601-1993的4.5,本版的4.4);---修改水含量的測定方法(GB/T14601-1993的4.6,本版的4.5);---增加金屬離子的測定方法(見4.6);---修改標(biāo)志、包裝、貯運及安全(GB/T14601-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦放電離子化氣相色譜法測定氨中的氫、氧(氬)、氮、一氧化碳、二氧化碳和烴(C1~C3)含量組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有限責(zé)任公司、西南化工研究設(shè)計院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:孫福楠、劉澤軍、付永成、謝國清、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14601-1993。