GB/T 24582-2009酸浸取.電感耦合等離子質(zhì)譜儀測定多晶硅表面金屬雜質(zhì)Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry

標(biāo)準(zhǔn)類別：[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)大?。?/li>
標(biāo)準(zhǔn)編號：GB/T 24582-2009
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
更新時間：2022-12-17
下載次數(shù)：次

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位:新光硅業(yè)科技責(zé)任有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:王波、過惠芬、吳道榮、梁洪、敖細(xì)平。

標(biāo)準(zhǔn)截圖

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