本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T14851-1993《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T14851-1993相比主要變化如下:---修改規(guī)范性引用文件(GB/T14851-1993的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T14851-1993的第3章,本版的第3章);---增加電子工業(yè)用磷化氫采樣安全要求(本版的4.1.2);---增加尾氣處理的要求(本版的4.3);---修改砷化氫、氮、氧(氬)組分的分析方法(GB/T14851-1993的4.2、4.5、4.6,本版的4.3);---刪去氫的分析方法(GB/T14851-1993的4.4);---修改二氧化碳、總烴含量的分析方法(GB/T14851-1993的4.3,本版的4.5、4.6);---增加一氧化碳的分析方法(見4.5);---增加標(biāo)準(zhǔn)樣品的規(guī)定(見4.7);---修改水分的分析方法(GB/T14851-1993的4.7,本版的4.8);---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T14851-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---刪去GB/T14851-1993的附錄A;---增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測(cè)定電子工業(yè)用磷化氫中的砷化氫、氮、氧(氬)組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院、大連光明化工研究院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、孫福楠、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14851-1993。