本標準代替GB/T16943-1997《電子工業(yè)用氣體 氦》。本標準與GB/T16943-1997相比主要變化如下:---修改氦的適用范圍(GB/T16943-1997的第1章,本版的第1章);---修改規(guī)范性引用文件(GB/T16943-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術指標內容:增加一類產品純度和雜質含量(GB/T16943-1997 的第3 章,本版的第3章);---修改瓶裝氦抽樣方法(GB/T16943-1997的4.1,本版的4.1.1);---增加集裝閣裝、大容積鋼質無縫氣瓶裝和杜瓦罐裝氦產品并規(guī)定檢驗方法(見4.1.1);---增加管道輸送的氦產品并規(guī)定檢驗方法(見4.1.2);---增加氦的采樣安全要求(見4.1.3);---增加新的分析方法:增加用氦放電離子化氣相色譜法測定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳組分;增加其他方法測定總烴含量;當出現多種分析方法時,增加規(guī)定仲裁方法(見4.3);---修改水分的測定方法(GB/T16945-1997的4.5,本版的4.5);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T16943-1997的第5章,本版的第5章);---增加安全要求(見5.6);---增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標準的附錄A 為規(guī)范性附錄。本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會歸口。本標準起草單位:西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設計院。本標準主要起草人:劉澤軍、付永成、趙俊秀、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T16943-1997。