本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)與ASTM E2530—2006《利用Si(111)晶面原子臺(tái)階對(duì)原子力顯微鏡亞納米高度測(cè)量進(jìn)行校準(zhǔn)的方法》(英文版)技術(shù)內(nèi)容基本一致?？紤]到我國(guó)國(guó)情,在采用ASTM E2530—2006時(shí),本標(biāo)準(zhǔn)做了一些修改,有關(guān)技術(shù)性差異已編入正文中。附錄A(規(guī)范性附錄)中給出樣品制備方法,附錄B(資料性附錄)中列出了本標(biāo)準(zhǔn)章條編號(hào)與ASTM E2530—2006章條編號(hào)的對(duì)照一覽表,附錄C(資料性附錄)中給出了技術(shù)性差異及其原因一覽表以供參考。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)院提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC279)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:國(guó)家納米科學(xué)中心。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:朱曉陽(yáng)、楊延蓮、賀蒙、高潔。