本標(biāo)準(zhǔn)代替GB4061-1983《硅多晶斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗(yàn)方法》。本標(biāo)準(zhǔn)與原標(biāo)準(zhǔn)相比,主要有如下改動(dòng):---增加了術(shù)語(yǔ)、試劑與器材;---增加了檢驗(yàn)報(bào)告內(nèi)容;---對(duì)試樣尺寸的切取方向和試樣處理內(nèi)容增加了要求。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:洛陽(yáng)中硅高科技有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:袁金滿。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB4061-1983。