本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T16944-1997《電子工業(yè)用氣體 氮》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T16944-1997相比主要變化如下:---修改電子工業(yè)用氮的適用范圍(GB/T16944-1997的第1章,本版的第1章);---修改規(guī)范性引用文件(GB/T16944-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T16944-1997的第3章,本版的第3章);---修改電子工業(yè)用氮抽樣和判定規(guī)則(GB/T16944-1997的4.1,本版的4.1);---增加電子工業(yè)用氮采樣要求(見4.1.3);---修改氫、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.3、4.4、4.6,本版的4.3);---修改總烴分析方法的檢測限(16944-1997的4.7,本版的4.4);---修改水分含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.5,本版的4.6);---修改標(biāo)志、包裝、貯運及安全(GB/T16944-1997的第5章,本版的第5章);---增加規(guī)范性附錄A,并把測定電子工業(yè)用氮中的氫、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國計量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T16944-1997。