本標準等同采用國際標準ISO22493:2008《微束分析 掃描電子顯微術(shù) 術(shù)語》(英文版)。為了便于使用,本標準做了下列編輯性修改:---本國際標準一詞改為本標準;---刪除國際標準的前言。---掃描電子顯微鏡簡稱掃描電鏡。---增加了中文索引。本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口。本標準起草單位:中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所。本標準主要起草人:李香庭、曾毅。