本標準等同采用ISO18114:2003《表面化學分析 二次離子質(zhì)譜 由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定相對靈敏度因子》。為了方便使用,本標準做了下列編輯性修改:———用“本標準”代替“本國際標準”。本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口。本標準起草單位:信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心。本標準主要起草人:馬農(nóng)農(nóng)、何友琴、何秀坤。