新型等離子體磁控濺射技術(shù)

論文簡介

介紹了等離子體磁控濺射原理和矩形磁控靶,探討了幾種新型等離子體非平衡磁控濺射技術(shù),其中包括脈沖磁控濺射和離子輔助濺射,重點分析了工藝要點,并就存在的問題提出了解決思路.

論文截圖

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