乙二醇輔助多層硅/硅直接鍵合

期刊名字：半導(dǎo)體學(xué)報(bào)
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論文作者：楊道虹，徐晨，沈光地
作者單位：北京工業(yè)大學(xué)電子信息與控制工程學(xué)院
更新時(shí)間：2022-09-24
下載次數(shù)：次

論文簡(jiǎn)介

利用乙二醇的分子結(jié)構(gòu)和氫鍵在10萬(wàn)級(jí)的超凈環(huán)境下成功地進(jìn)行了多層乙二醇環(huán)境下的硅/硅直接鍵合,并在氮?dú)獗Ｗo(hù)下1100℃熱處理后進(jìn)行了拉力強(qiáng)度測(cè)試,平均鍵合強(qiáng)度達(dá)到了10MPa.SEM觀測(cè)表明,在鍵合界面沒(méi)有發(fā)現(xiàn)孔洞和空隙.該方法同樣適用于Ⅲ-Ⅴ族化合物的直接鍵合.這為發(fā)展多層結(jié)構(gòu)、多功能集成的MEMS結(jié)構(gòu)器件奠定了良好的工藝基礎(chǔ).

論文截圖

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