ICP等離子體源天線設(shè)計(jì)

期刊名字：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)
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論文作者：吳振宇，楊銀堂，汪家友
作者單位：西安電子科技大學(xué)微電子研究所
更新時(shí)間：2023-03-20
下載次數(shù)：次

論文簡(jiǎn)介

感應(yīng)耦合等離子體技術(shù)以其低氣壓下產(chǎn)生高密度等離子體的能力及良好的可擴(kuò)展性成為微細(xì)加工中的重要的加工技術(shù)之一.本文提出了一種新型的三段式線圈的設(shè)計(jì)方法,對(duì)激發(fā)電場(chǎng)進(jìn)行了數(shù)值計(jì)算.結(jié)果表明設(shè)計(jì)的天線能夠在徑向和方向角方向上產(chǎn)生均勻性良好的電場(chǎng),耦合效率較高.

論文截圖

上一條：PLA纖維的低溫等離子體改性

下一條：碰撞等離子體的高階FDTD算法

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