低溫等離子體放電的數(shù)值模型

期刊名字：成都大學(xué)學(xué)報（自然科學(xué)版）
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論文作者：胡慶，蒙林，鄢陽，高榮，袁家德
作者單位：電子科技大學(xué),成都大學(xué)
更新時間：2023-03-19
下載次數(shù)：次

論文簡介

綜述了迄今為止各種分析低溫等離子體放電物理過程的數(shù)值模型,以幫助我們從數(shù)值模型出發(fā)理解許多至今仍無法解釋的現(xiàn)象,同時也為低溫等離子體在等離子體處理技術(shù)、氣體激光等工業(yè)應(yīng)用以及在微電子、材料制備、環(huán)保、航空航天、軍事等領(lǐng)域的應(yīng)用提供了研究方法.

論文截圖

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