微等離子體噴槍是一類重要的微等離子體源,已成為近年國(guó)際上低溫等離子體研究的熱點(diǎn)課題之一.與常規(guī)等離子體噴槍相比,微等離子噴槍具有低功耗、低溫度、高密度等特性.由于電極間隙小,適合于高氣壓或大氣壓下運(yùn)行,因而微等離子體噴槍具有體積小、易于集成、便攜等優(yōu)勢(shì).目前研制的微等離子體噴槍主要有直流微空心陰極型、高頻微DBD型、射頻電容耦合型、射頻電感耦合型、微波耦合型等放電形式.現(xiàn)階段,微等離子體噴槍已在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域、生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域、航天推進(jìn)領(lǐng)域進(jìn)入了實(shí)用化階段.本研究組研究制作了高頻微DBD和射頻電容耦合型結(jié)構(gòu)的噴槍.將其應(yīng)用于光刻膠去膠、材料表面改性及微生物滅菌領(lǐng)域,并對(duì)噴槍的放電特性進(jìn)行了研究.基于本研究組的實(shí)驗(yàn)研究,本文綜述了已有的各種微等離子體噴槍.介紹了各種微等離子體噴槍的結(jié)構(gòu)和工作原理,以及在不同領(lǐng)域的研究和應(yīng)用狀況.