通過對國內(nèi)外三氯氫硅的生產(chǎn)技術與研究進展進行評述,提出了三氯氫硅生產(chǎn)工藝的改進方法.三氯氫硅的生產(chǎn)方法有硅氫氯化法和四氯化硅氫化法,其中硅氫氯化法最為成熟.三氯氫硅氯化合成法工藝的關鍵是要在生產(chǎn)過程中,添加高效催化劑、優(yōu)化精餾提純工藝、采用合成尾氣回收新技術,以增加收率、提高質(zhì)量、降低成本.