在各等離子體中微波等離子體有電離度高,電子密度高等優(yōu)良性能.其性能使微波等離子體的應用越來越廣泛.微波等離子體相關(guān)參數(shù)的診斷研究也逐漸得到人們的重視.文章介紹了微波等離子體的探針診斷技術(shù),設(shè)計了一個雙探針自動診斷系統(tǒng),其中ICL8083芯片作為信號發(fā)生器(產(chǎn)生三角波和方波),高度集成化的ADUC845芯片作數(shù)據(jù)處理器并接入計算機,經(jīng)掃描采樣得到離子密度波形和電壓波形,取得了較好的實驗結(jié)果.