半導(dǎo)體業(yè)用高效精密磨具的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程

論文簡(jiǎn)介

本文介紹了"十五"以來半導(dǎo)體行業(yè)高效精密加工用金剛石磨具以及相關(guān)配套產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化情況,包括產(chǎn)品品種、型號(hào)規(guī)格、應(yīng)用實(shí)例等.

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