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等離子體技術在材料中的應用 等離子體技術在材料中的應用

等離子體技術在材料中的應用

  • 期刊名字：武漢科技大學學報
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  • 論文作者：陳大凱，劉靜
  • 作者單位：材料與冶金學院,
  • 更新時間：2023-03-20
  • 下載次數：次
論文簡介

簡述等離子體的物理概念及其獲得方法.重點介紹等離子體技術在材料領域中的表面改性,并論述了PCVD法涂Si的原理及動力學和熱力學問題.

論文截圖
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